超聲清洗是在空穴作用的基礎上，在清洗液中形成大量的氣泡和快速內爆。所造成的沖擊是除去浸入清洗液的工件內外表面的污垢。隨超聲波頻率的增大，氣泡增多，沖擊強度降低。高頻超聲清洗特別適用于清除微小污垢而不損傷工件表面。在液體上施加高頻(超聲頻率)和高強聲波，就會產生空泡和(爆泡)氣泡。所以，任何超聲清洗系統(tǒng)都必須有三個基本組成部分：裝有清洗液的罐子、能將電能轉化為機械能的傳感器，以及能產生高頻電信號的超聲發(fā)生器。

在一般情況下，清潔過程取決于清潔對象的難度和數(shù)量。清潔的主要程序如下：

1)熱浸法或噴淋法：目的是軟化、分離和溶解工件上的污染物，降低下一個清洗工序的負荷。

2)超聲清洗：利用超聲產生的氣蝕和振動，將工件表面污垢剝離，同時將油污分解并乳化。

3)冷沖洗：用流動清水洗去但仍然浮在工件表面的污垢。

4)超聲清洗：使用清水進行清洗。在浸漬工件后，用超聲波清洗工件表面的邊緣、角部和孔眼。

5)以熱凈化水和冷凈化水漂洗：進一步除去工件表面懸浮物顆粒。

6)熱風干燥：以一定的溫度和風速使工件表面迅速干燥。